概述 便携式电阻测度仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。 本仪器按照半导体材料电阻率的际及家标准测试方法有关规定*。 它主要由电器测量份(主机)及四探头组成,需要时可加配测试架。 为减小体积,本仪器用同块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由精宽的恒流源提供,随时可行校准,以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分材料也可以用来作产品检测。对1~100Ω•cm标准样片的测量瓿差不过±3%,在此范围内达到家标准机的水平。 测量范围: 可测量 电阻率:0.01~199.9Ω•cm。 可测方块电阻:0.1~1999Ω/口 当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。 (2)恒流源: 输出电流:DC 0.1mA~10mA分两档 10mA量程:0.1~1mA 连续可调 10mA量程:1mA ~10mA连续可调 恒流精度:各档均优于±0.1% 适合测量各种厚度的硅片 (3) 直流数字电压表 测量范围:0~199.9mv 灵敏度:100μv 准确度:0.2%(±2个字) (4) 供电电源: AC:220V ±10% 50/60HZ 率8W (5) 使用环境: 相对湿度≤80% (6) 重量、体积 重量:2.2 公斤 体积:宽210×100×深240(mm) (7)KD探针头 压痕直径:30/50μm 间距:1.00mm 探针合力:8±1N 针材:TC