四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。 本仪器的点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另块数字表（以分之几的精度）适时监测程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品：“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的*百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。 2、主机术能数 （1）测量范围： 可测电阻率：0.0001～19000Ω•cm 可测方块电阻：0.001～1900Ω•□ （2）恒流源： 输出电流：DC 0.001～100mA 五档连续可调 量程：0.001～0.01mA 0.01～0.10mA 0.10～1.0mA 1.0～10mA 10～100mA 恒流精度：各档均低于±0.05% （3）直流数字电压表： 测量范围：0～199.99mV 灵敏度：10μV 基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度） 输出电源：≥1000ΩM （4）供电电源： AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W （5）使用环境： 温度：23±2℃ 相对湿度：≤65% 无较强的电场干扰，无强光直接照射 （6）重量、体积： 主机重量：7.5kg 体积：365×380×160（单位：mm 长度×宽度×度） 备注： 等测量时（测电阻率），精度<3% 电气测量时（测电阻），精度在0.3%以内 备注： 仪器包括：主机台；测试架（包括台面）个；四探针头1个