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产品[
半导体电阻率测试仪
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产品名称:
半导体电阻率测试仪
产品型号:
HHY8-BD-86A
产品厂商:
恒奥德
产品文档:
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简单介绍
半导体电阻率测试仪/电阻率测试仪/半导体电阻率测定仪(含探头和测试架) 型号:HHY8-BD-86A HHY8-BD-86A型半导体电阻率测试仪是我厂推出的*新的普及型半导体电阻率测试仪器
半导体电阻率测试仪
的详细介绍
半导体电阻率测试仪/电阻率测试仪/半导体电阻率测定仪(含探头和测试架) 型号:HHY8-BD-86A
HHY8-BD-86A
型半导体电阻率测试仪是我厂推出的*新的普及型半导体电阻率测试仪
器,本仪器是根据四探针原理,适合半导体器材厂,材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(簿层电阻),也可以用作测量金属薄层电阻,经过对用户、半导体厂测试的调查,根据美
ASTM
标准的规定,在电路和探头方面作了重大的修改和术上的许多突破,它更适合
于半导体器材厂艺检测方面对中值、阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪,具有测量精度,稳定性好,输入阻抗,使用方便、价格低廉等点。
仪器主要术标:
1
.
测量范围:电阻率
10
-3
—
10
3
Ω
-cm
,分辩率为
10
-4
Ω-
cm
,可扩展到
10
5
Ω
-cm
方块电阻
10
-2
—
10
4
Ω
/□
,分辩率为
10
-3
Ω
/□
,可扩展到
10
6
Ω
/□
薄层金属电阻
10
-4
—
10
5
Ω,分辩率为
10
-4
Ω
2.
可测半导体材料尺寸:直径Φ
15—Φ125mm
;
长度:
150mm(
可扩展
500mm)
3.
测量方式:轴向、断面均可
4
.数字电压表:(
1
)量程:
20mV(
分辩率:
10μV)
、
200mV
、
2V
(
2
)测量误差:
±0.3%
读数
±1
字
(
3
)输入阻抗:大于
10
8
Ω
(
4
)显示
3 1/2
位红色发光二管(
LED
)数字显示
0---1999
具有性、过载、小数点、单位自动显示
5
.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离能
(
1
)
直流电流:
0—100mA
连续可调
(
2
)
量程:
10μA
、
100μA
、
1mA
、
10mA
、
100mA
(
3
)
分辩率:
10nA
、
0.1μA
、
1μA
、
10μA
、
0.1mA
(
4
)
电流误差:±
0.3%
读数
±2
字
6
.电性能模拟考核误差:
<
±
0.3%
符合
ASTM
标
7
.测试探头:(
1
)探针机械游移率:
± 0.3%
符合
ASTM
标
8
.电源:交流
220V±10% 50HZ
或
60HZ
率消耗
< 30W
9
.电气箱外形尺寸:
119×440×320mm
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