术参数
抽气及排气速度（升/分）：60
泵体作温度(℃)：<60
限压力：真空压力 200Mbar(0.08Mpa)
正压力 40 Psi
噪音(DB)：<55
气及出气口孔径 (mm)：Ф6
外形尺寸 (mm)：282×155×210
机率(Ｗ)：160
机重量(Kg)：9
作环境温度(℃)：7--40
气室：氟伦喷涂处理