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能薄膜性测试仪

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产品名称: 能薄膜性测试仪
产品型号: HAD0-70601
产品厂商: 恒奥德
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简单介绍
    

仪器由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪两分组成。具有测量精度，灵敏度，稳定性好，测量范围宽，结构紧凑，使用方便等点。仪器适用于半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，等院校对半导体材料的电阻性能的测试
能薄膜性测试仪 的详细介绍

能薄膜性测试仪型号:HAD0-70601 
仪器由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪两分组成。具有测量精度，灵敏度，稳定性好，测量范围宽，结构紧凑，使用方便等点。仪器适用于半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，等院校对半导体材料的电阻性能的测试。

四探针测试仪由主机，测试架等分组成。可以测量片状，块状，块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻），能材料暗电导和光电导及温度的变化的性，还可以对金属导体的低，中值电阻行测量。测试探头采用宝石导向轴套和耐磨碳化钨探针制成，故定位准确，游移率小，寿命长。

非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室，温控系统，真空系统，阻测量系统等分组成。

1. 测量范围：电阻测量范围：1×106 1×1017Ω；

电阻率：0.001～200Ω cm;

电导率：0.005～1000s/cm;

2. 可测晶片直径：200mm×200mm;

3. 探针：碳化钨或速钢；探针间距：1± 0.01mm;

4. 针间缘电阻： ≥ 1000 MΩ； 机械游移率：≤0.3%；

5. 本底真空度： ≤10Pa,气压可控范围：10～400Pa;

衬底加热温度：室温度～200℃



 		能薄膜性测试仪能薄膜性测试仪HZDH0-70601
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